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石英坩埚
纯度高且耐热性强的石英坩埚在单晶硅的拉制过程中是必不可少的部件。石英坩埚的性能对单晶硅的成晶率有较大的影响,Ferrotec(中国)坩埚事业部一直围绕着如何提高客户的成晶率不断的进行技术革新,也取得了很大的突破。为了满足不同客户的多样性生产需求,我司研发出四大系列石英坩埚,应对客户不同的拉晶工艺。石英坩埚尺寸我们目前可覆盖14英寸到32英寸,并具备按照客户要求定制更大尺寸的技术能力。后工序加工我们历时三年开发出一套全自动化生产线,确保石英坩埚品质稳定。
项目 | 16” | 18” | 20” | 22” | 24” | 26” | 28” | 32” | |
外径 (mm) |
D1 | 404±2 | 457±3 | 507±3 | 556±3 | 611±3 | 656±3 | 705±3 | 810±3 |
D2 | 404±2 | 457±3 | 507±3 | 556±3 | 611±3 | 656±3 | 705±3 | 810±3 | |
厚度 (mm) |
T1、T2 | 8.5±2 | 9±3 | 10(-2/+3) | 11(-2/+3) | 11(-2/+3) | 12(-2/+3) | 13(-2/+3) | 16±4 |
TR | 8.5±2 | 10±2 | 11(-2/+3) | 12(-2/+3) | 12(-2/+3) | 12(-2/+3) | 13(-2/+3) | 23±5 | |
TB | 8.5±2 | 10±2 | 11(-2/+3) | 12(-2/+3) | 12(-2/+3) | 12(-2/+3) | 13(-2/+3) | 16±4 | |
真空透明層 (mm) |
W | ≧2.5 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 |
R | ≧2.5 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | |
B | ≧2.5 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | |
R形状 | R1 | 90 | 120 | 90 | 110 | 120 | 120 | 120 | 160 |
R2 | 406 | 500 | 508 | 558 | 610 | 660 | 711 | 810 |