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Quartz Crucible

石英坩埚

纯度高且耐热性强的石英坩埚在单晶硅的拉制过程中是必不可少的部件。石英坩埚的性能对单晶硅的成晶率有较大的影响,Ferrotec(中国)坩埚事业部一直围绕着如何提高客户的成晶率不断的进行技术革新,也取得了很大的突破。为了满足不同客户的多样性生产需求,我司研发出四大系列石英坩埚,应对客户不同的拉晶工艺。石英坩埚尺寸我们目前可覆盖14英寸到32英寸,并具备按照客户要求定制更大尺寸的技术能力。后工序加工我们历时三年开发出一套全自动化生产线,确保石英坩埚品质稳定。

系列
AQM-10系列
内壁含有透明层的天然石英坩埚
适用于:太阳能单晶硅的拉制。
AQM-20系列
高纯天然石英坩埚,在AQM-10的基础之上增加高纯天然砂,内表面纯度较高
适用于:半导体和太阳能单晶硅的拉制,主推型号:AQM-21。
AQM-30系列
合成石英坩埚,内表面纯度更高,适用于高级别硅棒的拉制
适用于:半导体单晶硅的拉制,主推型号:AQM-31。
AQM-40系列
内表面结晶化的天然石英坩埚,适应多次加料工艺,长时间使用。
适用于:太阳能和半导体单晶硅的拉制,主推型号:AQM-42。
尺寸
尺寸图
規格表
项目   16” 18” 20” 22” 24” 26” 28” 32”
外径
(mm)
D1 404±2 457±3 507±3 556±3 611±3 656±3 705±3 810±3
D2 404±2 457±3 507±3 556±3 611±3 656±3 705±3 810±3
厚度
(mm)
T1、T2 8.5±2 9±3 10(-2/+3) 11(-2/+3) 11(-2/+3) 12(-2/+3) 13(-2/+3) 16±4
TR 8.5±2 10±2 11(-2/+3) 12(-2/+3) 12(-2/+3) 12(-2/+3) 13(-2/+3) 23±5
TB 8.5±2 10±2 11(-2/+3) 12(-2/+3) 12(-2/+3) 12(-2/+3) 13(-2/+3) 16±4
真空透明層
(mm)
W ≧2.5 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0
R ≧2.5 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0
B ≧2.5 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0 ≧3.0
R形状 R1 90 120 90 110 120 120 120 160
R2 406 500 508 558 610 660 711 810

FerroTec Ningxia

银川  宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司

住址
宁夏回族自治区银川市西夏区经济技术开发区光明西路23号

Map
该产品的生产基地


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