设备相关产品制造过程中不可或缺的设备

Quartz Products

石英制品

耐高温,化学稳定性强的超高纯度石英玻璃

在需要频繁进行高温处理和化学处理的半导体制造过程中,活跃着的是一种超高纯度的由石英玻璃组成的石英制品。无论是在晶圆薄膜的生成和扩散的过程中,或在运输及洗净工程中作为治具和消耗品的本公司的石英制品,在日益细化和高纯度化的半导体加工中起着重要的作用。

该技术的应用领域
音频设备 汽车 电子 医疗器械 家电产品 其他关联产品
设备相关产品
真空产品  
 
 
石英产品  
 
 
陶瓷产品  
   
气相沉积碳化硅产品(CVD-SiC)  
 
硅加工件  
 
 
电子束蒸发枪    
   
电子束蒸发镀膜装置    
   
半导体硅片    
     
电子器件产品
磁性流体
热电半导体产品  
 
功率半导体基板  
 
该技术的生产基地
石英制品的案例
  • 气相沉积设备

    CVD,又叫化学气相沉积,是一种制膜技术。给加热过的基板提供含有制膜成分的气体,基板表面产生化学反应,堆积成膜。

  • 蚀刻设备

    蚀刻方法是利用化学溶液或反应性气体的腐蚀性而进行表面处理的一种方法。在半导体制造中,它被用于除去晶圆在图案工艺处理过程中形成的薄膜。蚀刻法分干法蚀刻和湿法蚀刻。干法蚀刻就是利用蚀刻气体在电场加速作用下形成的等离子体中的活性基与被腐蚀材料发生化学反应,形成挥发性物质并随气流带走。湿法蚀刻则利用酸、碱的腐蚀性原理。


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