装置関連事業製造工程に不可欠なデバイス

Quartz Products

石英製品

熱と化学変化に強い超高純度ガラス

高熱処理や化学処理が頻繁に行われる半導体製造工程。そこで活躍するのが、超高純度のシリカガラスからなる石英製品です。ウェーハの薄膜生成や拡散プロセス、その他搬送、洗浄工程で冶具、消耗品として利用される当社の石英製品は、細線化、高純度化の進む半導体プロセスをにおいて重要な役割を担っています。

この技術が使用されている産業
オーディオ 自動車 エレクトロニクス 医療機器 家電民生品 その他の産業
装置関連事業
真空シール  
 
 
石英製品  
 
 
セラミックス  
   
SiCパーツ(CVD-SiC)  
 
シリコンパーツ  
 
 
EBガン    
   
精密蒸着装置    
   
半導体用シリコンウェーハ    
     
電子デバイス事業
磁性流体
サーモモジュール  
 
パワー半導体用基板  
 
この技術の製造拠点
石英製品の事例
  • CVD装置

    CVDは化学気相成長と呼ばれる薄膜製膜技術の一つです。加熱された基板に製膜を行いたい成分を含むガスを供給し、基板表面における化学反応により膜を堆積させます。

  • エッチング装置

    エッチングとは薬液や反応ガスの腐食作用を利用した表面加工方法です。半導体製造においてはウェーハにパターン形成する際の薄膜除去方法として使用されます。ガスをプラズマ化し、加速したイオンと化学反応で削るドライエッチングと、酸やアルカリの腐食作用を利用するウェットエッチングがあります。


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