装置関連事業製造工程に不可欠なデバイス

EB Components

EBガン

エレクトン・ビームガン
(電子銃)

製膜装置内でターゲット素材に向け
電子ビームを照射し、
素材を蒸発させる役割を持った
エレクトン・ビームガン
高品質の電子銃です。

EBU

EVM 4

EVM 6

EVM 8

Multi-Tiegel

Twin

この技術が使用されている産業
オーディオ 自動車 エレクトロニクス 医療機器 家電民生品 その他の産業
装置関連事業
真空シール  
 
 
石英製品  
 
 
セラミックス  
   
SiCパーツ(CVD-SiC)  
 
シリコンパーツ  
 
 
EBガン    
   
精密蒸着装置    
   
半導体用シリコンウェーハ    
     
電子デバイス事業
磁性流体
サーモモジュール  
 
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この技術の製造拠点


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