装置関連事業製造工程に不可欠なデバイス

Silicon Parts

シリコンパーツ

高純度ポリシリコン・プロセスで活躍するシリコン素材の冶具

高純度ポリシリコン製治具を初めて可能にしたSiFusionTM プロダクトはウェーハの成膜や拡散プロセスにおいて革新的なソリューションを提供します。反応ガスの拡散プロセスにおける使用時間の延長と稼働率向上、洗浄回数の削減などを実現し、お客様のトータルコスト削減に貢献しています。

この技術が使用されている産業
オーディオ 自動車 エレクトロニクス 医療機器 家電民生品 その他の産業
装置関連事業
真空シール  
 
 
石英製品  
 
 
セラミックス  
   
SiCパーツ(CVD-SiC)  
 
シリコンパーツ  
 
 
EBガン    
   
精密蒸着装置    
   
半導体用シリコンウェーハ    
     
電子デバイス事業
磁性流体
サーモモジュール  
 
パワー半導体用基板  
 
この技術の製造拠点


PAGE TOP