装置関連事業製造工程に不可欠なデバイス

Vacuum Coating System

精密蒸着装置

米国製Temescalの蒸着装置

高機能なEBガン(電子銃)・高圧電源を心臓部とした
Temescal装置は、大学・研究所向け小規模生産用ベル
ジャータイプから、大規模生産用高スループットタイプ
までの装置群を有しています。
化合物半導体での世界標準機として、数多くのお客様に
使用されており、現在は、LED、通信チップ製造プロセス'
等での導入が進んでいます。

この技術が使用されている産業
オーディオ 自動車 エレクトロニクス 医療機器 家電民生品 その他の産業
装置関連事業
真空シール  
 
 
石英製品  
 
 
セラミックス  
   
SiCパーツ(CVD-SiC)  
 
シリコンパーツ  
 
 
EBガン    
   
精密蒸着装置    
   
半導体用シリコンウェーハ    
     
電子デバイス事業
磁性流体
サーモモジュール  
 
パワー半導体用基板  
 
この技術の製造拠点


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