装置関連事業製造工程に不可欠なデバイス

SiC Parts (CVD-SiC)

SiCパーツ (CVD-SiC)

超高純度・高耐熱性・高耐摩耗性を実現した
独自のCVD法製作による炭化ケイ素製品

SiCはシリコン(Si)と炭素(C)が1対1で結合
した化合物で、耐摩耗性、耐熱性、耐腐食性等に
優れています。半導体製造工程で用いられる
ウェーハボートやチューブ、シリコンウェーハの
代替となるダミーウェーハなど、主に高温で使用
される治具として広く活用されています。

この技術が使用されている産業
オーディオ 自動車 エレクトロニクス 医療機器 家電民生品 その他の産業
装置関連事業
真空シール  
 
 
石英製品  
 
 
セラミックス  
   
SiCパーツ(CVD-SiC)  
 
シリコンパーツ  
 
 
EBガン    
   
精密蒸着装置    
   
半導体用シリコンウェーハ    
     
電子デバイス事業
磁性流体
サーモモジュール  
 
パワー半導体用基板  
 
この技術の製造拠点


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