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装置関連事業
電子デバイス事業
太陽電池関連事業
シリコン
その他関連事業

装置関連事業製造工程に不可欠なデバイス

SiC Parts (CVD-SiC)

SiCパーツ (CVD-SiC)

超高純度・高耐熱性・高耐摩耗性を実現した
独自のCVD法製作による炭化ケイ素製品

SiCはシリコン（Si）と炭素（C）が1対1で結合
した化合物で、耐摩耗性、耐熱性、耐腐食性等に
優れています。半導体製造工程で用いられる
ウエーハボートやチューブ、シリコンウエーハの
代替となるダミーウエーハなど、主に高温で使用
される治具として広く活用されています。

この技術が使用されている産業
オーディオ 自動車 エレクトロニクス 医療機器 家電民生品 その他の産業
装置関連事業
真空シール  
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石英製品  
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セラミックス  
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SiCパーツ(CVD-SiC)  
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シリコンパーツ  
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EBガン    
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精密蒸着装置    
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半導体用シリコンウエーハ    
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装置部品洗浄            
電子デバイス事業
磁性流体
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サーモモジュール  
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パワー半導体用基板  
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この技術の詳しい情報
株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズ
CVD-SiC
https://ft-mt.co.jp/product/cvd_sic/

Web
この技術の製造拠点

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